Titelaufnahme

    Titel
    Novel multi-component thin films prepared by microwave plasma enhanced chemical vapour deposition / Hisham Abu Samra
    BeteiligteAbu Samra, Hisham
    ErschienenSiegen : Univ., Lehrstuhl für Oberflächen- und Werkstofftechnologie, 2014
    UmfangXV, 237 S. : Ill., graph. Darst.
    HochschulschriftZugl.: Siegen, Univ., Diss., 2013
    Anmerkung
    Fälschlich als Bd. 2 gezählt
    Zsfassung in dt. Sprache
    SerieSchriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik ; [3]
    SchlagwörterMikrowellenplasma
    URNurn:nbn:de:hbz:6:2-61045 
    Zugänglichkeit
     Das Dokument ist öffentlich im Netz zugänglich.
    Dateien
    Novel multi-component thin films prepared by microwave plasma enhanced chemical vapour deposition [15.99 mb]
    Klassifikation
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     Nachweis in der ULB Münster
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