Titelaufnahme

Titel
Novel multi-component thin films prepared by microwave plasma enhanced chemical vapour deposition / Hisham Abu Samra
BeteiligteAbu Samra, Hisham
ErschienenSiegen : Univ., Lehrstuhl für Oberflächen- und Werkstofftechnologie, 2014
UmfangXV, 237 S. : Ill., graph. Darst.
HochschulschriftZugl.: Siegen, Univ., Diss., 2013
Anmerkung
Fälschlich als Bd. 2 gezählt
Zsfassung in dt. Sprache
SerieSchriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik ; [3]
SchlagwörterMikrowellenplasma
URNurn:nbn:de:hbz:6:2-61045 
Zugänglichkeit
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Dateien
Novel multi-component thin films prepared by microwave plasma enhanced chemical vapour deposition [15.99 mb]
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