Titelaufnahme

    Titel
    Novel multi-component thin films prepared by microwave plasma enhanced chemical vapour deposition / Hisham Abu Samra
    BeteiligtAbu Samra, Hisham [Sonstige]
    ErschienenSiegen : Univ., Lehrstuhl für Oberflächen- und Werkstofftechnologie, 2014
    UmfangXV, 237 S. : Ill., graph. Darst.
    HochschulschriftSiegen, Univ., Diss., 2013
    Anmerkung
    Fälschlich als Bd. 2 gezählt
    Zsfassung in dt. Sprache
    Serie
    Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik ; 3
    Schlagwörter (GND)Mikrowellenplasma / Siegen
    URNurn:nbn:de:hbz:6:2-61045 
    Zugänglichkeit
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     Nachweis in der ULB Münster
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